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トップページ|古本カテゴリ: 販売済商品薄膜工学 第2版
商品詳細
薄膜工学 第2版

薄膜工学 第2版[1399-3bu]

価格: 2,940円 (税込)
定価:3,990円
[古本]状態:並上

著者/訳者 金原粲/監修 吉田貞史/編著 近藤高志/編著 日本学術振興会薄膜第131委員会/編集企画
出版社名 丸善出版
発行年月2011年06月
978-4-621-08414-4
20111202

1 薄膜工学の基礎(薄膜の基礎
薄膜のプロセスと応用)
2 薄膜の作製法(真空蒸着
スパッタリング
化学気相成長法)
3 薄膜の評価(形状・構造評価
組成評価・分析
力学的・機械的性質の評価)
4 薄膜の機能と応用(半導体薄膜
光学薄膜と透明導電膜
誘電体薄膜
磁性薄膜
薄膜の化学的性質と機能
有機薄膜)